振動分析是一個非常廣泛而復雜的領域，它利用了測試和診斷學科的多個方面，從狀態(tài)監(jiān)視到缺陷檢測。傳感器技術的改進現(xiàn)在也允許在微型/中型世界中使用振動分析方法。非接觸式***速(寬帶)激光傳感器(通常為位移傳感器)可以克服加速度計所表現(xiàn)出的傳統(tǒng)限制，因此可以執(zhí)行***精度和局部化的分析。

　　振動分析方法可以細分為四個主要領域：

　　•時域

　　•頻域

　　•聯(lián)合域(時/頻域)

　　•模態(tài)分析

　　每個域都提供有關振動部分的工作條件和功能的特定信息。

　　通常情況下，時域分析是專門于檢測到所述測試部件的整體性能：峰值，平均值，根均方(RMS)，振動振幅的包絡值。將這些值與閾值進行比較，以檢測異常性能或潛在缺陷。

　　當通過傅立葉變換計算(或快速傅立葉變換 – FFT)將被測信號分解為一系列頻率分量(頻譜)時，頻域能夠提供更多信息。對不同頻率分量的局部分析允許將簽名與處理后的信號相關聯(lián)，從而可以通過其自己的簽名來精確識別被測部件(簽名分析)。由于信號的時變特性，可以發(fā)現(xiàn)在時間觀察窗口上計算許多頻譜很有用。為此，可以非常有效地使用聯(lián)合時間/頻率技術(Gabor-Wigner-Wavelet)。在時間/頻率分析的特定情況下，頻譜與轉(zhuǎn)速相關 這樣就可以對被測設備進行“階次分析”(階次分析)，從而可以分析由隨速度變化的頻率分量表示的單個階次。

　　模態(tài)分析允許研究結(jié)構在振動激勵下的動力特性。該技術使用FFT來執(zhí)行傳遞函數(shù)，該傳遞函數(shù)顯示一個或多個諧振，通過該傳遞函數(shù)可以估算被測零件的特征質(zhì)量，阻尼，剛度和其他特性。使用激光干涉儀和合適的軟件工具，可以將非接觸式振動分析應用于MEMS的測試和測量(微機電系統(tǒng))和MOEMS(微機電系統(tǒng))動力學和地形。