塵埃粒子計數(shù)器校準規(guī)范：塵埃粒子計數(shù)器主要用來評定潔凈室潔凈度等級、檢測過濾器的過濾效率及潔凈織物的發(fā)塵量等。塵埃粒子計數(shù)器的量值溯源因其特殊性，存在很大難度，多年來***內(nèi)外都在致力于塵埃粒子計數(shù)器的校準研究。該文就研究以及編寫的塵埃粒子計數(shù)器******計量校準規(guī)范，來闡述塵埃粒子計數(shù)器的校準方法。塵埃粒子計數(shù)器的校準是一項看似容易,但并非簡單的工作,校準過程中需要細致和謹慎的態(tài)度,同時對塵埃粒子計數(shù)器的了解和校準的經(jīng)驗也很重要。

    范圍 ：適用于公司所有的塵埃粒子計數(shù)器的校準。

    目的：制定公司塵埃粒子計數(shù)器的校準程序，確保其檢測數(shù)據(jù)的準確性和有效性。

    職責：本規(guī)范由設備動力部負責起草、修訂，每年由計量人員邀請有校準資質(zhì)的機構(gòu)進行校準。

    參考 ：中華人民共和*********計量技術(shù)規(guī)范JJF1190-2008《塵埃粒子計數(shù)器校準規(guī)范》。

術(shù)語：

單分散粒子：一批聚苯乙烯球狀粒子，其粒子直徑分布的相對標準偏差≤5%。

粒徑分布誤差：粒子計數(shù)器對不同粒徑粒子在氣溶膠中所占百分比進行測量時的測量誤差。

內(nèi)容：

1 校準條件

1.1 環(huán)境條件

1.1.1 環(huán)境溫度：（20±5）℃；

1.1.2 環(huán)境相對濕度：＜75%RH；

1.1.3 實驗室：潔凈度10 000級的凈化室或凈化區(qū)。

1.2 校準設備

1.2.1 單分散粒子：（0.1～10）μm各粒徑擋的單分散粒子，其粒徑分布的相對標準偏差≤5%。

1.2.2 塵埃粒子發(fā)生測量裝置：發(fā)生粒子粒徑范圍（0.1～10）μm，粒子濃度（1000～100000）個/28.3升；流量穩(wěn)定性控制在±5%/8h；粒子濃度測量的重復性≤5%。

1.2.3 秒表：分度值0.01s。

1.2.4 流量計：10L/1.5級和4L/1.5級。

1.2.5 容量瓶：100mL，A級；微量進樣器：10μL,4%FS。

1.2.6 超***效過濾器：可過濾0.1μm的粒子。

2 校準項目和校準方法

2.1 外觀要求

開機，依據(jù)粒子計數(shù)器說明書進行預熱，目測檢查。

2.2 自凈時間

儀器預熱進入正常工作狀態(tài)后，先對實驗室內(nèi)的空氣進行粒子濃度測量1分鐘，然后將粒子計數(shù)器采樣口接***效過濾器（或儀器自備自凈口），使粒子計數(shù)器處于自凈狀態(tài)，并開始計時。每次采樣時間為1min，并且連續(xù)進行。粒子濃度三次為零時停止計時。從儀器開始計時到停止計時之間的時間為自凈時間。

2.3 流量誤差

2.3.1 采樣流量在10 000的潔凈室中進行，并記錄下測量時的溫度、濕度和大氣壓力。

2.3.2 將標準流量計接在儀器的進氣口上，接管盡可能短。開機，粒子計數(shù)器進入正常工作狀態(tài)后，調(diào)整儀器流量至其設定值。測定其流量1次，0.5h后在同樣測定1次。

2.3.3 按式（1）計算采樣流量誤差：

（1）式中：—粒子計數(shù)器采樣流量的2次實際測量值的平均值；

Q—粒子計數(shù)器采樣流量的設定值的標稱值。

2.4 計時誤差

2.4.1 粒子計數(shù)器進入正常工作狀態(tài)后，將采樣時間設定在6min，同時啟動秒表

和粒子計數(shù)器，待粒子計數(shù)器到達設定的采樣時間時，停止計時，記錄秒表***后顯示時間t。

2.4.2 按式（2）計算計時誤差Δt ：

（2）式中：t0——粒子計數(shù)器的采樣定時時間，t0=360s；

t——秒表計時時間。

2.5 重復性

2.5.1 使用塵埃粒子發(fā)生裝置進行重復性試驗，被檢儀器進入正常工作狀態(tài)后先自凈。

2.5.2 將0.5μm左右的單分散粒子稀釋液，充分搖勻后，注入發(fā)生裝置的噴霧頭中，霧化后粒子濃度控制在（4500～5500）個/28.3升之間。霧化后，按照儀器操作規(guī)程輸入到被檢粒子計數(shù)器。

2.5.3 在粒子計數(shù)器正常運轉(zhuǎn)5min后開始測定粒子濃度，連續(xù)采樣至少10次。

2.5.4 按式（3）計算0.5μm的粒子濃度c0.5的平均值：

（n≥10）

（3）式中：——被檢粒子計數(shù)器≥0.5μm的粒子濃度各次測量值。

2.5.5 粒子計數(shù)器的重復性s按照式（4）計算：

（n≥10）

（4）式中：CN——引用值，此處為氣溶膠所在潔凈度等級的******粒子濃度值10000個/28.3升。

2.6 粒徑分布誤差

2.6.1 粒子計數(shù)器進入正常工作狀態(tài)后先進行自凈。

2.6.2 按照2.5.2方法，將0.6μm左右單分散粒子稀釋液通過塵埃粒子發(fā)生裝置輸入到被檢粒子計數(shù)器。

2.6.3 在粒子計數(shù)器正常運轉(zhuǎn)5min后開始測定粒子濃度，連續(xù)采樣3次。

2.6.4 按式（5）計算粒徑分布hIi：

（5）式中：——被檢粒子計數(shù)器的大于等于0.5μm的粒子濃度第i次測量值；

——被檢粒子計數(shù)器的大于等于0.3μm的粒子濃度第i次測量值。

按式（6）計算粒徑分布的平均值。

2.6.5 按式（6）計算粒徑分布的平均值hI：

（n=3）

2.6.6 粒子計數(shù)器在進行自凈。

2.6.7 按照2.5.2方法，將0.4μm左右單分散標準粒子通過塵埃粒子發(fā)生裝置輸入到被檢塵埃粒子計數(shù)器。

2.6.8 在粒子計數(shù)器正常運轉(zhuǎn)5min后開始測定粒子濃度，連續(xù)采樣3次，每次采樣1分鐘。

2.6.9 按式（7）計算粒徑分布h2j：

（7）式中：c0.5j——被檢粒子計數(shù)器的大于等于0.5μm的粒子濃度第j次測量值；

C0.3j——被檢粒子計數(shù)器的大于等于0.3μm的粒子濃度第j次測量值。

2.6.10 按式（8）計算粒徑分布的平均值：

（n=3）

2.6.11 按式（9）計算粒徑分布誤差Δh ：

（9）使用0.6μm粒子測量時h理論值=100%，使用0.4μm粒子測量時h理論值=0%。

2.6.12 同樣的方法，測量并計算5.0擋粒徑分布誤差。

2.7 粒子濃度示值誤差

2.7.1 粒子計數(shù)器經(jīng)過預熱時間后，先進行自凈。

2.7.2 將0.5μm單分散粒子稀釋液通過塵埃粒子發(fā)生裝置產(chǎn)生穩(wěn)定的氣溶膠，輸入到相同流量的精密粒子計數(shù)器和被檢粒子計數(shù)器中，霧化粒子濃度控制在（4500～5500）個/28.3升之間。

2.7.3 在粒子計數(shù)器正常運轉(zhuǎn)5min后開始測定粒子濃度，粒子計數(shù)器連續(xù)測10次。

2.7.4 按式（10）計算精密計數(shù)器10次測量的平均值

（n=10）

2.7.5 按式（11）計算被檢粒子計數(shù)器10次測量值的平均值：

（n=10）

（11）式中：C0.5k——被檢粒子計數(shù)器的大于等于0.5μm的粒子濃度第k次測量值。

2.7.6 按式（12）計算粒子濃度示值誤差：

（12）中：CN——引用值，此處為氣溶膠所在潔凈度等級的******粒子濃度值10000個/28.3升。

2.7.7 同樣地，單分散粒子稀釋液粒子濃度控制在（45000～55000）個/28.3升之間，用上述方法，檢測并計算出粒子濃度示值誤差：

（13）式中：CN——引用值，為氣溶膠所在潔凈度等級的******粒子濃度值100 000個/28.3升。

3 接受標準

3.1 外觀要求

無影響校準結(jié)果的缺陷：各零部件應齊全并且連接可靠，不應有影響使用的損傷和變形；各旋鈕和開關無損傷和卡死現(xiàn)象。

3.2 自凈時間不大于10min。

3.3 流量誤差：采樣流量設定值的誤差不超過±5%。

3.4 計時誤差：采樣時間6min的計時誤差不超過±1s。

3.5 重復性：在相同測量條件下，粒子濃度連續(xù)測量值的重復性不大于10%FS。

3.6 粒子分布誤差：0.5μm、5μm粒徑擋分布誤差不超過±30%。

3.7 粒子濃度示值誤差：粒子計數(shù)器處于正常工作條件狀態(tài)后，0.5μm粒徑擋的粒子濃度示值誤差不超過±30%FS。

4 校準結(jié)果的處理和校準周期

4.1 校準結(jié)果應該在校準證書上反映。校準證書至少包括以下信息：實驗室名稱和地址；進行校準的地點；校準證書的***性標識；校準依據(jù)；校準所使用的測量標準溯源性及有效性說明；校準結(jié)果及測量不確定度的說明等。

4.2 計量員應依據(jù)本規(guī)范的接受標準來判定校準證書結(jié)果是否合格，在接受范圍內(nèi)的粘貼“合格證”標識；否則粘貼“停用證”標識。

4.3 塵埃粒子計數(shù)器校準周期為一年。

無論是校準2.83 L/min的塵埃粒子計數(shù)器還是28.3 L/min的塵埃粒子計數(shù)器，此時標準粒子發(fā)生裝置發(fā)生的濃度是相同的（4500~5500）個/28.3 L。數(shù)據(jù)的不穩(wěn)定性，說明小流量的塵埃粒子計數(shù)器的綜合性能還是略遜于大流量的塵埃粒子計數(shù)器。******計量校準規(guī)范JJF1190-2008《塵埃粒子計數(shù)器》的實行，對保證全***量值一致性，抑制目前市場放任的局面是有好處的。